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目前,沈阳芯源公司已申请专利343项,其中发明专利272项(美国专利5项,台湾专利12项),实用新型48项。目前拥有授权专利145项,其中发明专利127项,使用新型专利6项,外观合计专利12项,拥有37项软件著作权,主持制定了行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》1项。芯源技术及产品荣获国家战略性创新产品、国家重点新产品、中国半导体创新产品和技术奖及省、市科技进步奖等多项奖励。

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